通常,標(biāo)準(zhǔn)的晶圓薄片生產(chǎn)可以分為以下步驟:
1、現(xiàn)場規(guī)范的刨削和修整
2、對多孔或易碎的材料進(jìn)行浸漬軟化處理(可選)
3、初步研磨切割材料
4、制備均勻厚度的載玻片
5、將樣本粘合到制備的載玻片上
6、稀釋粘合的樣本
7、將樣品研磨至選定的厚度
8、拋光樣本(可選)
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